こんにちはゲストさん。会員登録(無料)して質問・回答してみよう!

締切り済みの質問

XeF2とステンレスの反応について

現在,ステンレス製チャンバーにXeF2ガスを導入して,Siのドライエッチング実験を行っています.その際,XeF2とチャンバーのステンレスが反応して気体を発生させているようなのです.この反応がどういった反応であるのかよくわかりません.

そこで,XeF2とステンレスによって発生する化学反応の化学反応式を教えていただけないでしょうか.

よろしくお願いします.

投稿日時 - 2007-11-15 18:12:00

QNo.3520746

すぐに回答ほしいです

このQ&Aは役に立ちましたか?

1人が「このQ&Aが役に立った」と投票しています

回答(1)

XeF2から分解したHFが、SUSと腐食生成物を形成しているだけではないでしょうか?

投稿日時 - 2007-11-15 18:34:29

あなたにオススメの質問